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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="掃描探針微影術"


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    掃描探針微影製程參數最佳化之研究
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 洪司融 指導教授: 郭中豐
    • 不論是筆記型電腦或數位相機等消費性電子產品在現代人的生活中皆是不可或缺的必需品,並往輕薄短小的目標邁進。因此,如何在矽晶圓上製作奈米尺寸之圖案,成為縮小電子元件之關鍵技術。 本論文提出的掃描探針微影…
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    • 全文公開日期 2014/08/04 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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